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更新日期：2024-03-16
簡(jiǎn)要描述：
日本東麗toray半導(dǎo)體，電子元件氧氣分析儀MS-500多可同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)濃度顯示范圍很廣，從ppm到百分之100。非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。傳感器為直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）具有特殊涂層的高度耐用的傳感器，可進(jìn)一步提高耐用性
| 儀器種類 | 在線式 |
|---|
日本東麗toray半導(dǎo)體，電子元件氧氣分析儀MS-500
測(cè)量原理形狀顯示方式測(cè)量范圍重復(fù)性測(cè)量點(diǎn)數(shù)樣氣條件壓力流量濕度溫度其他比較氣記錄儀輸出變速箱輸出報(bào)警輸出熱身時(shí)間尺寸MS-500（控制器）MS-510（轉(zhuǎn)換器）傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW大眾MS-500（控制器）MS-510（轉(zhuǎn)換器）傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW外部連接使用電源
| 氧化鋯濃縮池類型 |
| 分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直接插入式） |
| 4位數(shù)字顯示（密度顯示） |
| 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm 自動(dòng)量程 |
| 在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或更高 ±1％FS或± 0.1ppm中，以較大者為準(zhǔn)小于0-1％范圍0-1ppm，atm范圍超出保證的濃度范圍 |
| 1?9?18 |
| 10 -3至200 KPa（壓力） |
| 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量） |
| 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 |
| 0-100°攝氏度 |
| 請(qǐng)勿包含腐蝕性氣體（氟氣，lv氣，硫化物氣等），含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 |
| 大氣層 |
| 僅變速箱輸出 |
| RS-232C |
| 沒(méi)有 |
| 6分鐘以內(nèi) |
| 92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起） |
| 100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起） |
| 總長(zhǎng)100mm（感應(yīng)部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） |
| 總長(zhǎng)100 mm（感應(yīng)部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） |
| 總長(zhǎng)100mm（感應(yīng)部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） |
| 約0.6Kg |
| 約0.5kg |
| 約0.2Kg |
| 約0.2Kg |
| 約0.35Kg |
| 真空法蘭之一（NW16、25、40） |
| 24VDC±10％ |
